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三維探針臺(tái)
簡(jiǎn)介：

三維探針臺(tái)，由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，X-Y-Z三軸的行程均為12毫米，開環(huán)最小步長(zhǎng)為0.3μm，探針可選配。專為科研實(shí)驗(yàn)室中微米尺度/量級(jí)的力學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)、生物化學(xué)等性能測(cè)試打造的微米精度探針臺(tái)，并可增配閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微米精度的定位。

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說明：搭配使用控制器和驅(qū)動(dòng)器，可同時(shí)控制多個(gè)“三維探針臺(tái)”，滿足客戶更高要求。
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